韶关冶炼厂自主成功制备出高质量砷化镓单晶

来源：中国有色金属报

时间：2023-07-25

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　　7月14日，中金岭南韶关冶炼厂稀贵金属绿色回收与提取实验室半导体衬底材料中试团队利用自有技术成功生产出第一根砷化镓单晶棒，单晶棒外观质量优良，初步判定为零缺陷长单晶体。此次实验第一次投料就成功产出成晶率高、质量优良的单晶棒，说明该厂在砷化镓单晶装备、晶体生长工艺控制等方面拥有的技术成熟可靠，已达到国内同行业领先水平。
　　砷化镓是一种半导体材料，它具有高电子迁移率、宽禁带宽度、高热导率等特点，是高频电子器件制造中的重要应用基底材料之一，在光电子器件、微波电子器件、高亮度的发光二极管和激光器以及高频率的晶体振荡器等领域应用广泛。
　　此次自主成功制备出砷化镓单晶，标志着韶关冶炼厂在工艺和装备上已趋于成熟，将为86万片高纯半导体衬底材料项目建成投产奠定坚实基础，使其成为全新的、重要的效益增长点，持续夯实高质量发展基础。